DUV 工程を一時停止して再開する
平面 DUV 工程が完了するたびにチェックポイントを作成し、工程の境界で一時停止して、次の工程から続行します。この手順は Cloud 2.1.2.10 および Windows 2.1.2.3 に適用されます。
工程ごとの実行を開始する
vFactory で「工程モデル」を開き、「DUV 工程連携」を選択します。
成膜、拡散、温度ランプ、またはエッチングの工程を含む平面フローを使用します。「その他の操作」を開いて「工程ごとの保存点を記録して実行」を選択します。完了した各工程がチェックポイントに記録されます。
一時停止して続行する
Cloud では、実行中の進捗表示の横にある「この工程の後で一時停止」を選択します。Windows では、「その他の操作」を開いて「この工程の後で一時停止」を選択します。
現在の工程が完了するまで待ちます。保持されたチェックポイントには、完了した工程が示されます。
「その他の操作」を開き、「次の工程を再開」を選択します。保持されたプロファイルと経過時間を使用して、次の未完了工程から続行します。
チェックポイントを保持する
実行中に「DUV 区間をキャンセル」を選択すると、実行が停止し、完了済みのチェックポイントが保持されます。「その他の操作」>「DUV フローファイルを保存」で、チェックポイントをフローファイルに含められます。
再開するには、ウェーハとファブの入力、工程マッピング、ウェーハ、ロット、ルートの識別子を変更せずに維持してください。アプリケーションは、続行前にチェックポイントの入力ハッシュと結果ハッシュ、およびエンジンの識別情報を確認します。