暂停并恢复 DUV 步骤
每个平面 DUV 步骤完成后创建检查点，在步骤边界暂停，并从下一个步骤继续。这些步骤适用于 Cloud 2.1.2.10 和 Windows 2.1.2.3。
开始分步运行
在 vFactory 中打开“工艺模型”，然后选择“DUV 工艺连接”。
使用包含沉积、扩散、温度斜坡或刻蚀步骤的平面流程。打开“更多操作”并选择“运行并记录步骤检查点”。检查点会记录每个已完成的步骤。
暂停并继续
在 Cloud 上，选择运行进度旁的“此步骤结束后暂停”。在 Windows 上，打开“更多操作”并选择“此步骤结束后暂停”。
等待当前步骤完成。保留的检查点会标明已完成的步骤。
打开“更多操作”并选择“接续运行下一步骤”，使用保留的剖面和已用时间，从下一个尚未完成的步骤继续。
保留检查点
运行期间，“取消 DUV 区段”会停止执行并保留已完成的检查点。“更多操作”>“保存 DUV 流程文件”会将检查点包含在流程文件中。
如需恢复，请保持晶圆和晶圆厂输入、步骤映射，以及晶圆、批次和路线标识符不变。应用程序会先检查检查点的输入与结果哈希值及引擎标识信息，再继续执行。