Pausar e retomar etapas DUV
Crie um ponto de controle após cada etapa DUV planar concluída, pause no limite entre etapas e continue a partir da próxima etapa. Estas etapas se aplicam ao Cloud 2.1.2.10 e ao Windows 2.1.2.3.
Iniciar uma execução por etapas
No vFactory, abra Modelos de processo e escolha Conexão do processo DUV.
Use um fluxo planar com etapas de deposição, difusão, rampa térmica ou corrosão. Abra Mais ações e selecione Executar com pontos de controle por etapa. Um ponto de controle registra cada etapa concluída.
Pausar e continuar
No Cloud, selecione Pausar após esta etapa ao lado do progresso da execução. No Windows, abra Mais ações e selecione Pausar após esta etapa.
Aguarde a conclusão da etapa atual. O ponto de controle mantido identifica a etapa concluída.
Abra Mais ações e selecione Retomar a próxima etapa para continuar a partir da próxima etapa não concluída usando o perfil e o tempo decorrido mantidos.
Manter um ponto de controle
Durante uma execução, Cancelar segmento DUV interrompe a execução e mantém os pontos de controle concluídos. Mais ações > Salvar arquivo do fluxo DUV inclui o ponto de controle no arquivo do fluxo.
Mantenha sem alterações as entradas do wafer e da fábrica, o mapeamento de etapas e os identificadores de wafer, lote e rota para retomar a execução. O aplicativo verifica os hashes da entrada e do resultado do ponto de controle e a identidade do motor antes de continuar.