暫停並繼續 DUV 步驟
每個平面 DUV 步驟完成後建立檢查點，在步驟邊界暫停，並從下一個步驟繼續。這些步驟適用於 Cloud 2.1.2.10 與 Windows 2.1.2.3。
開始分步執行
在 vFactory 中開啟「製程模型」，再選擇「DUV 製程連結」。
使用包含沉積、擴散、溫度斜坡或蝕刻步驟的平面流程。開啟「更多操作」並選取「執行並記錄步驟檢查點」。檢查點會記錄每個已完成的步驟。
暫停並繼續
在 Cloud 上，選取執行進度旁的「此步驟結束後暫停」。在 Windows 上，開啟「更多操作」並選取「此步驟結束後暫停」。
等待目前步驟完成。保留的檢查點會指出已完成的步驟。
開啟「更多操作」並選取「接續執行下一步驟」，使用保留的剖面與經過時間，從下一個尚未完成的步驟繼續。
保留檢查點
執行期間，「取消 DUV 區段」會停止執行並保留已完成的檢查點。「更多操作」>「儲存 DUV 流程檔案」會將檢查點納入流程檔案。
若要繼續，請保持晶圓與晶圓廠輸入、步驟對應，以及晶圓、批次與路線識別碼不變。應用程式會先檢查檢查點的輸入與結果雜湊值及引擎識別資訊，再繼續執行。