Parâmetros do recorte EUV
Consulte os padrões de planejamento do recorte e os valores de solicitação óptica para a geração local de imagens EUV.
Esta referência se aplica ao vFactory no Cloud 2.1.2.10 e no Windows 2.1.2.3.
Recorte EUV configura a geração local de imagens da geometria GDS importada. A geometria e os cortes usam nm de máscara. Forneça a óptica explícita para gerar imagens localmente.
Planejamento do recorte
O planejador arredonda o halo para cima até um intervalo inteiro de rasterização. Uma execução aceita até 64 blocos.
Campo | Valor inicial após a importação |
|---|---|
Camada e tipo de dados | A camada do primeiro polígono importado. |
X da região (nm da máscara), Y da região (nm da máscara) | Os valores mínimos de X e Y do primeiro polígono importado. |
Largura da região (nm da máscara), Altura da região (nm da máscara) | A extensão do primeiro polígono, limitada a 4–512 nm em cada eixo. |
Resolução de rasterização (nm da máscara) | 4 |
Halo de margem (nm da máscara) | 32 |
Tamanho do bloco (nm da máscara) | 512 |
Solicitação óptica
As faixas abaixo são os valores exibidos nas entradas numéricas. Os valores de desfoco são números finitos distintos separados por vírgulas.
Campo | Valor inicial; valores de entrada |
|---|---|
Comprimento de onda (nm) | 13,5; a partir de 0,001 |
Abertura numérica | 0,33; 0,001–0,55 |
Obstrução | 0; 0–0,999 |
Fonte de iluminação | Convencional; Convencional, Anular, Dipolo, Quadrupolo, Fonte por pixels |
Lista de desfocagens (nm) | 0; de 1 a 32 valores |
Limiar (Iref = 1) | 0,5; a partir de 0,001 |
Largura da grade de saída, Altura da grade de saída | 64 cada; números inteiros de 2 a 512 |
Configurações ópticas avançadas
Dados ópticos explícitos (JSON) contém stack, absorber, chiefRayDeg, polarization, transport e reflectionPlaneNm. O índice do meio circundante é {re: 1, im: 0}; a polarização é x ou y; o transporte é ideal-vector-v1 ou euvlitho-vector-v1.
Polinômios de Zernike (JSON) aceita até 37 termos com índices Noll distintos de 1 a 37 e coefficientWaves em ondas. Pontos da fonte por pixels (JSON) aceita de 1 a 256 pontos dentro da pupila unitária, com pesos não negativos e um total positivo.
Parâmetros numéricos (JSON; null usa o padrão do motor) aceita null, ou refinements de 2 ou 3 com um method opcional de abbe, hopkins ou socs. Amostragem da máscara (JSON; null usa o padrão do motor) aceita null, amostragem contínua ou amostragem por pixels com largura e altura inteiras de 1 a 8192.
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