EUV 裁切参数
查阅本地 EUV 成像的裁切规划默认值与光学请求值。
本参考文档适用于 Cloud 2.1.2.10 与 Windows 2.1.2.3 中的 vFactory。
EUV 裁切 可设置导入 GDS 几何形状的本地成像。几何形状与切线使用掩模 nm。本地成像须提供明确的光学设置。
裁切规划
规划器将晕边向上取整到栅格间距的整数倍。每次运行接受最多 64 个分块。
字段 | 导入后的初始值 |
|---|---|
图层与数据类型 | 第一个导入多边形的图层。 |
区域 X（掩模 nm）, 区域 Y（掩模 nm） | 第一个导入多边形的最小 X 和 Y。 |
区域宽度（掩模 nm）, 区域高度（掩模 nm） | 第一个多边形的范围，各轴限制在 4–512 nm。 |
光栅分辨率（掩模 nm） | 4 |
晕边（掩模 nm） | 32 |
分块大小（掩模 nm） | 512 |
光学请求
以下范围为数值输入所显示的值。离焦值是以逗号分隔且互不重复的有限数。
字段 | 初始值；输入值 |
|---|---|
波长 (nm) | 13.5；从 0.001 起 |
数值孔径 | 0.33; 0.001–0.55 |
遮蔽率 | 0; 0–0.999 |
照明光源 | 常规; 常规, 环形, 双极, 四极, 像素光源 |
离焦列表（nm） | 0；1–32 个值 |
阈值（Iref = 1） | 0.5；从 0.001 起 |
输出网格宽度, 输出网格高度 | 各为 64；2 至 512 的整数 |
高级光学设置
显式光学数据（JSON） 包含 stack、absorber、chiefRayDeg、polarization、transport 和 reflectionPlaneNm。周围介质折射率为 {re: 1, im: 0}；偏振为 x 或 y；传输为 ideal-vector-v1 或 euvlitho-vector-v1。
泽尼克多项式（JSON） 接受最多 37 项，Noll 索引为 1 至 37 且互不重复，coefficientWaves 以波长为单位。像素光源点（JSON） 接受单位瞳孔内的 1–256 个点，权重非负且总和为正。
数值计算（JSON；null 使用引擎默认值） 接受 null，或 refinements 为 2 或 3、可选 method 为 abbe、hopkins 或 socs 的设置。掩模采样（JSON；null 使用引擎默认值） 接受 null、连续采样，或宽高为 1 至 8192 整数的像素采样。
相关指南
参考晶圆厂的布局、工艺数据与结果采用示例假设。