EUVクリップのパラメータ
ローカルEUVイメージングのクリップ計画のデフォルト値と光学リクエスト値を確認します。
このリファレンスはCloud 2.1.2.10およびWindows 2.1.2.3のvFactoryに適用されます。
EUVクリップでは取り込んだGDS形状のローカルイメージングを設定します。形状とカットにはマスクnmを使用します。ローカルイメージングには明示的な光学設定を指定します。
クリップ計画
プランナーはハローをラスタ間隔の整数倍に切り上げます。各回の実行で最大64タイルを受け付けます。
フィールド | 取り込み後の初期値 |
|---|---|
レイヤーとデータ型 | 最初に取り込んだポリゴンのレイヤー。 |
領域X（マスクnm）, 領域Y（マスクnm） | 最初に取り込んだポリゴンの最小XおよびY。 |
領域幅（マスクnm）, 領域高さ（マスクnm） | 最初のポリゴンの範囲を各軸で4–512 nmに収めた値。 |
ラスタ解像度（マスクnm） | 4 |
ハロー（マスクnm） | 32 |
タイル寸法（マスクnm） | 512 |
光学リクエスト
以下の範囲は数値入力に表示される値です。デフォーカス値はカンマで区切った重複のない有限数です。
フィールド | 初期値；入力値 |
|---|---|
波長 (nm) | 13.5；0.001以上 |
開口数 | 0.33; 0.001–0.55 |
遮蔽率 | 0; 0–0.999 |
照明光源 | 通常; 通常, 輪帯, ダイポール, クアドリポール, ピクセル光源 |
デフォーカス一覧（nm） | 0；1–32個の値 |
しきい値（Iref = 1） | 0.5；0.001以上 |
出力グリッド幅, 出力グリッド高さ | 各64；2〜512の整数 |
高度な光学設定
明示的な光学データ（JSON）には stack、absorber、chiefRayDeg、polarization、transport、reflectionPlaneNm を含めます。周囲媒質の屈折率は {re: 1, im: 0}、偏光は x または y、伝送は ideal-vector-v1 または euvlitho-vector-v1 です。
ゼルニケ（JSON）では1〜37の重複のないNollインデックスと波長単位の coefficientWaves を持つ項を最大37個受け付けます。ピクセル光源点（JSON）では単位瞳内の1–256点を受け付け、重みは非負、合計は正とします。
数値計算（JSON、nullはエンジン既定値）では null、または refinements が2または3で、省略可能な method が abbe、hopkins、socs のいずれかの設定を受け付けます。マスクサンプリング（JSON、nullはエンジン既定値）では null、連続サンプリング、または幅と高さが1〜8192の整数のピクセルサンプリングを受け付けます。
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