Execute seu primeiro modelo de processo no vFactory

Abra os modelos de processo, confira as entradas de exemplo, execute o modelo e leia o resultado.

Modelos de processo abre com um processo de wafer de exemplo. Confira as entradas, execute o modelo e leia o resultado calculado.

Abra os modelos de processo

  1. Abra o menu de produtos e escolha vFactory e, depois, Processo de wafer e fabricação.

  2. Selecione a aba Modelos de processo.

  3. Em Modelo, mantenha Processo do wafer. O formulário começa com as entradas de Exemplo de camada plana.

Confira as entradas

  1. Revise Coeficientes dos materiais, Camadas iniciais a partir da superfície e Sequência do processo.

  2. A sequência de exemplo tem três etapas: Depositar filme dopado, Recozer camadas e Gravar o filme seletivamente.

  3. Abra Premissas e unidades do modelo para ler as unidades e o escopo do modelo.

A aba Modelos de processo com Modelo definido como Processo do wafer. Premissas e unidades do modelo estão abertas, seguidas de Coeficientes dos materiais para substrato e filme, Camadas iniciais a partir da superfície e o início de Sequência do processo. O painel de resultados diz Ainda não há resultados calculados.

Antes da primeira execução, revise as premissas e as unidades do exemplo, os coeficientes dos materiais e as camadas iniciais. Ainda não é mostrado nenhum resultado.

Execute o modelo

  1. Selecione Executar simulação (o botão de reprodução) na barra de ferramentas.

  2. Enquanto o modelo é executado, o status mostra Calculando o modelo…. Para interromper a execução, selecione Cancelar simulação.

  3. Quando o status mostrar Cálculo concluído, o resultado aparece ao lado das entradas, com Logaritmo da concentração e Inspecionar etapa do processo.

Modelos de processo após uma execução. A barra de status mostra Cálculo concluído, e Proveniência da execução do processo mostra a execução como concluída. Resultados calculados mostra a etapa 3. Gravar o filme seletivamente com sua espessura, dose e contagem de células, um gráfico de concentração por profundidade e a tabela Histórico do processo e conservação.

Após Cálculo concluído, o resultado mostra a etapa do processo selecionada, um perfil de concentração por profundidade e o histórico do processo. Proveniência da execução do processo mostra a execução como concluída.

Se você mudar uma entrada depois de uma execução, o status mostra Entradas alteradas. Selecione Executar simulação novamente para atualizar o resultado.

Modelos de processo após uma alteração de entrada. Um aviso de Entradas alteradas diz que o resultado exibido pertence a uma entrada anterior e que você deve executar o modelo atualizado para atualizá-lo. A etapa de difusão Recozer camadas agora tem Duração (s) 60, e o resultado anterior permanece à direita.

O aviso "Entradas alteradas" indica que o resultado à direita ainda vem da entrada anterior até você executar o modelo novamente.

Se a execução não for concluída

A simulação não foi concluída aparece com uma mensagem que explica o problema. Siga as instruções da mensagem e, depois, execute o modelo novamente.

Executar simulação fica indisponível enquanto uma execução ou uma operação com arquivos do projeto está em andamento.

Quando os arquivos do projeto estão indisponíveis, Executar simulação não pode ser usado. Reconecte o projeto e, depois, execute o modelo.

Se Projeto alterado aparecer, siga a mensagem: Abra um documento de processo deste projeto ou crie um novo.

Salve as entradas e o resultado

  1. Salvar entradas salva as entradas atuais como um arquivo JSON.

  2. Exportar resultados fica disponível depois de uma execução e salva as entradas junto com o resultado.

  3. Para experimentar depois um modelo de fábrica, escolha Simulação da fábrica em Modelo. Ele começa com as entradas de Exemplo de fábrica com rotas reentrantes.

Usar vFactory: explorar uma fábrica e acompanhar um projeto até o wafer

As entradas de exemplo são suposições sintéticas. Os resultados simulam o modelo fornecido e não são dados de produção medidos.