在 vFactory 中執行第一個製程模型

製程模型 會以範例晶圓製程開始。請確認輸入、執行模型並閱讀計算結果。

開啟製程模型

1. 開啟產品選單，選取 vFactory，再選取 晶圓製程與晶圓廠。

2. 選取 製程模型 分頁。

3. 在 模型 中保持 晶圓製程。表單會以 平面層範例 的輸入開始。

確認輸入

1. 檢查 材料係數、由表面開始設定初始層 和 製程順序。

2. 範例製程順序有三個步驟：沉積摻雜薄膜、層退火 和 薄膜選擇性蝕刻。

3. 展開 模型假設與單位，閱讀單位與模型的範圍。

第一次執行前，請檢查範例的假設與單位、材料係數與初始層。目前尚未顯示結果。

執行模型

1. 在工具列中選取 執行模擬（播放按鈕）。

2. 模型執行期間，狀態會顯示 正在計算輸入模型…。若要停止執行，請選取 取消模擬。

3. 狀態顯示 計算完成 後，結果會出現在輸入旁邊，包括 對數濃度 和 檢查製程階段。

「計算完成」後，結果會顯示所選製程階段、依深度的濃度剖面與製程歷程。製程執行溯源會將該次執行顯示為已完成。

如果在執行後變更輸入，狀態會顯示 輸入已變更。請再次選取 執行模擬 以更新結果。

「輸入已變更」橫幅表示，在再次執行模型之前，右側的結果仍來自先前的輸入。

執行未完成時

模擬未能完成 會與說明問題的訊息一起顯示。請依照訊息中的指示操作，然後再次執行模型。

在執行期間或專案檔案作業進行中，無法使用 執行模擬。

專案檔案無法使用時，執行模擬 無法使用。 請重新連線專案，再執行模型。

如果出現 專案已變更，請依照其訊息操作：請開啟此專案的製程文件或建立新文件。

儲存輸入與結果

1. 儲存輸入資料 會將目前的輸入儲存為 JSON 檔案。

2. 匯出結果 在執行後才能使用，會將輸入與結果一起儲存。

3. 接下來若要試用晶圓廠模型，請在 模型 中選取 晶圓廠模擬。它會以 重入式晶圓廠範例 的輸入開始。

使用 vFactory：探索晶圓廠並追蹤設計到晶圓的流程

範例輸入為合成的假設值。結果是對所提供模型的模擬，而非實測生產資料。