在 vFactory 中运行第一个工艺模型

工艺模型 以示例晶圆工艺开始。请检查输入、运行模型并查看计算结果。

打开工艺模型

1. 打开产品菜单，选择 vFactory，然后选择 晶圆工艺与晶圆厂。

2. 选择 工艺模型 选项卡。

3. 在 模型 中保留 晶圆工艺。表单以 平面层示例 的输入开始。

检查输入

1. 检查 材料系数、从表面开始设置初始层 和 工艺顺序。

2. 示例工艺顺序包含三个步骤：沉积掺杂薄膜、层退火 和 薄膜选择性刻蚀。

3. 展开 模型假设和单位，查看单位和模型的范围。

首次运行前，请检查示例的假设和单位、材料系数和初始层。目前尚未显示结果。

运行模型

1. 在工具栏中选择 运行仿真（播放按钮）。

2. 模型运行期间，状态会显示 正在计算输入模型…。要停止运行，请选择 取消仿真。

3. 状态显示 计算完成 后，结果会出现在输入旁边，包括 浓度对数 和 检查工艺阶段。

“计算完成”后，结果显示所选工艺阶段、按深度的浓度分布和工艺历史。工艺执行溯源将该次运行显示为已完成。

如果在运行后更改输入，状态会显示 输入已更改。请再次选择 运行仿真 以更新结果。

“输入已更改”横幅表示，在再次运行模型之前，右侧的结果仍来自之前的输入。

运行未完成时

仿真未能完成 会与说明问题的消息一起显示。请按照消息中的说明操作，然后再次运行模型。

在运行期间或项目文件操作进行时，无法使用 运行仿真。

项目文件不可用时，运行仿真 无法使用。 请重新连接项目，然后运行模型。

如果出现 项目已更改，请按照其消息操作：请打开此项目的工艺文档或新建文档。

保存输入和结果

1. 保存输入数据 会将当前输入保存为 JSON 文件。

2. 导出结果 在运行后才可使用，会将输入和结果一起保存。

3. 接下来如果要试用晶圆厂模型，请在 模型 中选择 晶圆厂仿真。它以 重入式晶圆厂示例 的输入开始。

使用 vFactory：探索晶圆厂，跟随设计到晶圆的流程

输入示例为合成假设值。结果是对所提供模型的模拟，而非实测生产数据。