vFactory で最初の工程モデルを実行する
工程モデルを開き、例の入力を確認してから、モデルを実行して結果を読みます。
工程モデル は例のウェーハ工程で始まります。入力を確認して実行し、計算結果を読みます。
工程モデルを開く
製品メニューを開き、vFactory を選び、次に ウェーハ工程・ファブ を選びます。
工程モデル タブを選択します。
モデル は ウェーハプロセス のままにします。フォームは 平面層の例 の入力で始まります。
入力を確認する
材料係数、初期層を表面から指定、工程順序 を確認します。
例の工程順序には ドープ膜の堆積、層を熱処理、薄膜を選択エッチング の 3 つのステップがあります。
モデルの仮定と単位 を開いて、単位とモデルの範囲を確認します。
最初の実行の前に、例の仮定と単位、材料係数、初期層を確認します。結果はまだ表示されていません。
モデルを実行する
ツールバーで シミュレーションを実行（再生ボタン）を選択します。
モデルの実行中は、ステータスに 入力モデルを計算中… と表示されます。実行を止めるには シミュレーションをキャンセル を選択します。
ステータスに 計算完了 と表示されると、入力の横に 濃度の対数表示 や 工程段階を確認 などの結果が表示されます。
「計算完了」の後、結果には選択した工程段階、深さ方向の濃度プロファイル、工程履歴が表示されます。工程実行の来歴では、実行が完了として示されます。
実行後に入力を変更すると、ステータスに 入力が変更されました と表示されます。結果を更新するには、もう一度 シミュレーションを実行 を選択します。
「入力が変更されました」のバナーは、モデルを再実行するまで、右側の結果が以前の入力によるものであることを示します。
実行が完了しない場合
シミュレーションを完了できませんでした が、問題を説明するメッセージとともに表示されます。メッセージの指示に従ってから、モデルをもう一度実行します。
実行中、またはプロジェクトのファイル操作の処理中は、シミュレーションを実行 を使用できません。
プロジェクトファイルを利用できない場合、シミュレーションを実行 は使用できません。プロジェクトを再接続してから、モデルを実行します。
プロジェクトが変更されました が表示された場合は、そのメッセージに従います：このプロジェクトの工程ドキュメントを開くか新規作成してください。
入力と結果を保存する
入力を保存 は、現在の入力を JSON ファイルとして保存します。
結果を書き出す は実行後に使用でき、入力と結果を一緒に保存します。
次にファブモデルを試すには、モデル で ファブシミュレーション を選びます。再入工程のファブ例 の入力で始まります。
vFactory の使い方：ファブを見学し、設計からウェーハまでをたどる
入力例は合成された仮定値です。結果は指定されたモデルのシミュレーションであり、実測の生産データではありません。