导入 MOS 电容器的已准备工艺输入

检查已准备 MOS 输入的来源和转换详情,再将其用于电容器计算,或保留直接输入。

开始之前

这些步骤适用于 Cloud 2.1.2.10 和 Windows 2.1.2.3。

请准备好包含成功生成的已准备工艺 MOS 输出的 JSON 文件。导入的输入描述均匀的 MOS 电容器衬底及理想 SiO₂ 氧化层厚度。

在 Cloud 上,运行器件计算以及保存或打开项目文档之前,请先停止项目运行时。

导入并检查已准备的输入

  1. 在窗口标题栏打开产品菜单,选择“vFactory”>“晶圆工艺与制造”。选择“工艺模型”,然后选择“器件 (MOS-C)”。

  2. 选择“导入已准备的工艺 MOS 输入”,然后选择已准备的 JSON 文件。

  3. 在预览中检查 source、sourceModel、sourceInputSha256 和 sourceResultSha256。检查 conversion 中的源窗口、单位、极性、掺杂和氧化层厚度;检查 preparedInput 中的 MOS-C 参数。

  4. 选择“确认已准备的 MOS 输入”以采用预览中的输入。如需保留当前的直接输入,请选择“使用直接 MOS 输入”。

计算并查看已采用的输入

  1. 展开“工艺来源记录”,查看已采用的来源记录、ownerSha256 和 sourceRevision。

  2. 选择“运行 MOS-C 仿真”。查看 LF/HF 电容、表面电势和半导体电荷图,以及收敛表。

  3. 如需返回直接输入,请选择“使用直接 MOS 输入”,编辑“MOS-C 输入 (SI)”,然后选择“应用输入”。

在 vFactory 中运行第一个工艺模型