MOS 커패시터용으로 준비된 공정 입력 가져오기

준비된 MOS 입력의 출처와 변환 내용을 검토한 뒤 커패시터 계산에 적용하거나 직접 입력을 유지합니다.

시작하기 전에

이 절차는 Cloud 2.1.2.10 및 Windows 2.1.2.3에 적용됩니다.

성공적으로 준비된 공정 MOS 출력이 담긴 JSON 파일을 준비하세요. 가져온 입력은 균일한 MOS 커패시터 기판과 이상적인 SiO₂ 산화막 두께를 기술합니다.

Cloud에서는 소자 계산을 실행하거나 프로젝트 문서를 저장하거나 열기 전에 프로젝트 런타임을 중지하세요.

창 헤더에서 제품 메뉴를 열고 vFactory > 웨이퍼 공정 및 팹 항목을 고르세요. 공정 모델 항목을 선택한 다음 소자 (MOS-C) 항목을 선택하세요.
준비된 공정 MOS 입력 가져오기 항목을 선택하고 준비된 JSON 파일을 고르세요.
미리보기에서 source, sourceModel, sourceInputSha256, sourceResultSha256 값을 검토하세요. conversion에서 원본의 구간, 단위, 극성, 도핑, 산화막 두께를 확인하고 preparedInput에서 MOS-C 매개변수를 확인하세요.
미리 본 입력을 적용하려면 준비된 MOS 입력 확인 항목을 선택하세요. 현재의 직접 입력을 유지하려면 직접 MOS 입력 사용 항목을 선택하세요.

공정 원본 출처 항목을 펼쳐 적용한 출처 기록, ownerSha256, sourceRevision 값을 확인하세요.
MOS-C 시뮬레이션 실행 항목을 선택하세요. LF/HF 정전용량, 표면 전위, 반도체 전하 그래프와 수렴 표를 읽으세요.
직접 입력으로 돌아가려면 직접 MOS 입력 사용 항목을 선택하고 MOS-C 입력 (SI) 내용을 편집한 뒤 입력 적용 항목을 선택하세요.