在 3D 晶圓廠中跟隨批次

使用 3D 攝影機跟隨選取的批次，並在重播進行時查看其記錄的作業。

這些步驟適用於 Cloud 和 Windows 應用程式。重播依照已完成晶圓廠模擬所記錄的事件進行。

準備執行

如需瞭解如何開啟 vFactory 及檢查模型輸入，請參閱在 vFactory 中執行第一個製程模型。

1. 在 vFactory 中開啟「製程模型」分頁。在「模型」中選擇「種子式晶圓廠模擬 (v2)」。

2. 檢查模型輸入，然後選取「執行模擬」。

3. 執行完成且包含完整的事件記錄後，在計算結果下方找到晶圓廠場景。選取場景工具列上的「晶圓廠設定」（齒輪按鈕）。

選取並跟隨批次

1. 在「播放中的批次資訊」的「我的批次」中選擇 ID。您也可以在「依完整 ID 精確搜尋批次」中輸入完整 ID，以選取相符的批次。

2. 選擇在顯示時間尚未完成的批次。先選取「在 3D 中跟隨批次」，再選取「播放模擬」。

3. 在「3D 地圖」中查看攝影機隨載具在設備槽位之間移動。在「2D 地圖」中，選取的載具會醒目標示。

4. 在批次檢查面板中查看「狀態」、「目前作業編號（從 1 起算）」及「已完成作業數」。如果顯示時間的作業、設備和槽位已有記錄，跟隨狀態便會顯示這些資訊。

跟隨批次時，攝影機隨載具移動，跟隨狀態會指出作業、設備與槽位。

停止跟隨或更換跟隨的批次

選取「停止跟隨」以結束攝影機跟隨。選取其他批次或選擇「沒有醒目標示的批次」也會結束跟隨。若要跟隨新選取的批次，請再次選取「在 3D 中跟隨批次」。

批次完成其製程途程時，跟隨便會停止。若要查看途程較早的部分，請將「模擬時間（秒）」移回較早時間，再次選取「在 3D 中跟隨批次」。

範例輸入是合成的假設值。結果是對所提供模型的模擬，並非實際生產測量資料。