在 vFactory 晶圓廠中量測距離

選取兩個場景點或輸入其座標，以讀取距離和高度差。

在 vFactory 中開啟參考晶圓廠，然後量測場景中兩點之間的距離。這些步驟適用於 Cloud 和 Windows 應用程式。

選取兩點

  1. 選取場景工具列中的 訪客工具，然後展開 量測。

  2. 選取 在 3D 中選擇 A，然後按一下 3D 場景中可見的地板或表面。

  3. 選取 在 3D 中選擇 B，然後按一下第二個點。在 2D 地圖 檢視下，選取任一選點按鈕會將場景切換至 俯視圖。

讀取距離與高度

設定好兩個點後，讀取 三維距離 以取得直線距離，讀取 平面距離 以取得水平距離。ΔZ 是點 B 的高程減去點 A 的高程，因此可能為負值。這三個值均以 mm 為單位。

在 3D 地圖 中於晶圓廠地板選取兩點後，訪客工具 中的 量測。點 A 和 點 B 均使用 自訂高程（Z 50），讀數顯示 三維距離: 88,244.9 mm 和 平面距離: 88,244.9 mm · ΔZ: 0 mm，並附有說明「僅量測場景幾何，不代表竣工測量或淨空認證。」

在同一地板選取的兩點：三維距離等於平面距離，ΔZ 為 0 mm。

輸入座標

  1. 在 點 A 與 點 B 下方，以 mm 為單位輸入 X、Y 和 Z。Z 是場景中的絕對高程。請使用欄位下方顯示的座標範圍。

  2. 對於具有設施樓層的場景，請使用 樓層預設 將點的 Z 設為樓層高程。接著您可以編輯 Z 以選擇其他高度。

  3. 選取 依座標量測 以套用這兩個點並更新讀數。

已輸入座標的 訪客工具 中的 量測。點 A 使用 無塵室 的 樓層預設（Z 0），點 B 使用 風機層 預設。選取 依座標量測 後，讀數顯示 三維距離: 60,299.3 mm 和 平面距離: 60,000 mm · ΔZ: 6,000 mm。

點 B 使用 風機層 的 樓層預設，因此 ΔZ 顯示 6,000 mm 的高度差。

完成量測

選點期間，選取 停止選點 可保留量測結果並結束選點。選取 清除量測 可移除這兩個點及其讀數。

參考晶圓廠的尺寸是合成範例假設，而非來自真實晶圓廠的量測值。