晶圓廠模型

本參考文件適用於 Cloud 2.1.2.10 與 Windows 2.1.2.3 中的 vFactory。

參考晶圓廠 可開啟參考模型或 fab-model JSON 檔案。開啟 晶圓廠設定 並展開 晶圓廠設定 以存取模型控制項。

參考模型

選擇 參考設備數量，再選取 開啟參考晶圓廠。選取 匯出模擬模型 可儲存供晶圓廠模擬器使用的參考模型。

匯入模型結構

匯入晶圓廠配置 接受結構描述為 altifigence.fab-model/v1 或 altifigence.fab-model/v2 的 JSON。模型可位於根物件、完整匯入的 model（complete: true），或 kind 設為 fab 或 fab-v2 的文件之 input。

模型提供名稱、設備群組與路徑。群組 ID 與路徑 ID 各自唯一。每個群組的容量為正整數。每條路徑都有作業清單，各作業的 equipmentId 指向現有群組。

接受的配置輸入

匯入的模型會開啟為自動排列的配置預覽。晶圓廠模擬器會在執行模型之前驗證製程參數。

相關指南

在 vFactory 中開啟參考晶圓廠

在 vFactory 中執行第一個製程模型

參考晶圓廠的配置、製程資料與結果採用範例假設。