執行包含批次與保養的種子式晶圓廠模型

執行種子式批次範例，加入預防保養，並比較完成的執行結果。這些步驟適用於 Cloud 2.1.2.10 與 Windows 2.1.2.3。

開啟種子式模型

1. 開啟產品選單並選擇 vFactory → 晶圓製程與晶圓廠。選取 製程模型。

2. 在 模型 中選擇 種子式晶圓廠模擬 (v2)。範例的初始設定為種子值 17、期間 3600 秒，以及 批次組成 派工規則。

3. 將 亂數種子 設為非負整數，並將 模擬期間 (s) 設為正的時長。使用相同引擎比較重複執行時，請保持相同的種子值與輸入。

編輯批次與保養

1. 在 Cloud 上，展開 進階輸入。在 Windows 上，區段控制項已經顯示。在 模型區段 中選擇 設備、批次、設定、故障及保養。

2. 在 區段 JSON 中確認爐管批次：minSize: 2、maxSize: 4 與 maxWaitS: 60。此範例以批次（lot）數計算。批次組成會等待達到最小規模，直到等待最久的批次達到最長等待時間；何時開始仍受可用容量限制。

3. 將爐管的空 pm 陣列替換為下列陣列，其他欄位保持原樣。

[{"everyS":900,"duration":{"kind":"constant","value":60}}]

這會要求每 900 秒進行 60 秒保養。若要改用依次數安排的保養，請將 everyS: 900 替換為 everyCount: 2。預設以完成的批次組數計數。只能使用一個週期欄位。

1. 選取 套用區段。若要還原為已套用的值，請選取 捨棄區段編輯。執行或切換區段前，請先套用或捨棄尚未處理的編輯。

「套用區段」之後，furnace 保留其批次設定，並有一個保養項目：每 900 秒進行 60 秒保養。種子值維持為 17，模擬期間維持為 3600 秒。

執行並閱讀結果

1. 選取 執行模擬。若要停止執行中的計算，請選取 取消模擬。

2. 出現 計算完成 時，請閱讀 計算結果、已完成批次 與 已完成晶圓。在 設備狀態時間比例 中比較處理、保養與閒置時間的比例。

3. 變更一項輸入，套用區段編輯後再次執行。輸入已變更 表示畫面上的結果來自先前的輸入。

閱讀「已完成批次」和「已完成晶圓」，然後在「設備狀態時間比例」中比較加工、預防保養和待命的比例。這些數值來自合成的範例輸入。

基本製程工作流程請參閱 在 vFactory 中執行第一個製程模型。

範例輸入是合成的假設，並非真實晶圓廠的資料。