在 3D 晶圆厂中跟随批次
从已完成的晶圆厂运行中选择批次，跟随载具在设备槽位之间移动。
使用 3D 相机跟随所选批次，在回放过程中查看其记录的工序。
这些步骤适用于 Cloud 和 Windows 应用。回放按照已完成晶圆厂仿真中记录的事件进行。
准备运行
有关打开 vFactory 和检查模型输入的方法，请参阅在 vFactory 中运行第一个工艺模型。
在 vFactory 中打开“工艺模型”选项卡。在“模型”中选择“带种子的晶圆厂模拟（v2）”。
检查模型输入，然后选择“运行仿真”。
运行完成且包含完整的事件记录后，在计算结果下方找到晶圆厂场景。选择其工具栏上的“晶圆厂设置”（齿轮按钮）。
选择并跟随批次
在“播放中的批次信息”的“我的批次”中选择 ID。您也可以在“按完整 ID 精确搜索批次”中输入完整 ID，选择匹配的批次。
选择在显示时间尚未完成的批次。先选择“在 3D 中跟随批次”，再选择“播放仿真”。
在“3D 地图”中查看相机随载具在设备槽位之间移动。在“2D 平面图”中，所选载具会高亮显示。
在批次检查面板中查看“状态”、“当前工序编号（从 1 开始）”和“已完成工序数”。如果显示时间的工序、设备和槽位已有记录，跟随状态就会显示这些信息。
跟随批次时，相机随载具移动，跟随状态会指出工序、设备和槽位。
停止跟随或更换跟随的批次
选择“停止跟随”结束相机跟随。选择其他批次或选择“没有高亮显示的批次”也会结束跟随。要跟随新选择的批次，请再次选择“在 3D 中跟随批次”。
批次完成其工艺路线时，跟随会停止。要查看路线中较早的部分，请将“仿真时间（秒）”移回较早时间，然后再次选择“在 3D 中跟随批次”。
示例输入是合成的假设值。结果是对所提供模型的仿真，并非实际生产测量数据。