在 vFactory 晶圆厂中测量距离

选取两个场景点或输入其坐标，以读取距离和高度差。

在 vFactory 中打开参考晶圆厂，然后测量场景中两点之间的距离。这些步骤适用于 Cloud 和 Windows 应用程序。

选取两点

  1. 在场景工具栏中选择 访客工具，然后展开 测量。

  2. 选择 在 3D 中选择 A，然后单击 3D 场景中可见的地面或表面。

  3. 选择 在 3D 中选择 B，然后单击第二个点。在 2D 平面图 中选择任一选点按钮，会将场景切换为 俯视图。

读取距离和高度

设置好两点后，读取 三维距离 获取直线距离，读取 平面距离 获取水平距离。ΔZ 为点 B 的标高减去点 A 的标高，因此可能为负数。这三个数值均使用 mm。

在 3D 地图 中于晶圆厂地面选取两点后，访客工具 中的 测量。点 A 和 点 B 均使用 自定义标高（Z 50），读数显示 三维距离: 88,244.9 mm 和 平面距离: 88,244.9 mm · ΔZ: 0 mm，并附有说明“仅测量场景几何，不代表竣工测量或净空认证。”

在同一地面选取的两点：三维距离等于平面距离，ΔZ 为 0 mm。

输入坐标

  1. 在 点 A 和 点 B 下方，以 mm 为单位输入 X、Y 和 Z。Z 为场景中的绝对标高。请使用字段下方显示的坐标范围。

  2. 对于包含设施楼层的场景，可使用 楼层预设 将某点的 Z 设置为楼层标高。然后您可以编辑 Z 以选择其他高度。

  3. 选择 按坐标测量 以应用这两个点并更新读数。

已输入坐标的 访客工具 中的 测量。点 A 使用 洁净室 的 楼层预设（Z 0），点 B 使用 风机层 预设。选择 按坐标测量 后，读数显示 三维距离: 60,299.3 mm 和 平面距离: 60,000 mm · ΔZ: 6,000 mm。

点 B 使用 风机层 的 楼层预设，因此 ΔZ 显示 6,000 mm 的高度差。

完成测量

在选点处于活动状态时，选择 停止选点 可保留测量结果并完成选点。选择 清除测量 可移除这两个点及其读数。

参考晶圆厂的尺寸属于合成示例假设，并非来自实际晶圆厂的测量数据。