参照ファブの仮定を理解する

vFactory の参照ファブは 300 mm ロジックファブを表します。この説明は Cloud 2.1.2.10 と Windows 2.1.2.3 に適用されます。

装置数

既定のモデルには 300 台の装置があります。参照装置数には合計 200〜400 台を指定できます。EUV 装置 4 台は固定され、残りの台数を他の装置グループに配分します。

工程の入力値

モデルには工程時間、製品切り替え、故障、修理、予防保全が含まれます。別の単位が示されていない時間値の単位は秒です。これらの入力値が例のモデルの動作を決めます。

vFactory

参照ファブの配置と工程の数値は説明用の仮定であり、実際のファブのデータではありません。