了解参考晶圆厂的假设

vFactory 的参考晶圆厂表示一座 300 mm 逻辑晶圆厂。本说明适用于 Cloud 2.1.2.10 和 Windows 2.1.2.3。

设备数量

默认模型包含 300 台设备。参考设备数量可指定为总计 200 至 400 台。EUV 设备固定为 4 台，其余设备组分配剩余数量。

工艺输入

模型包含工艺时间、产品切换、故障、维修及预防性维护。除非标明其他单位，时间值均以秒为单位。这些输入决定示例模型的行为。

vFactory

参考晶圆厂的布局和工艺数值是用于说明的假设，并非真实晶圆厂的数据。