シード付きファブモデルをバッチと保守を含めて実行する

シード付きバッチの例を実行し、予防保守を追加して、完了した実行結果を比較します。この手順は Cloud 2.1.2.10 と Windows 2.1.2.3 に適用されます。

シード付きモデルを開く

1. 製品メニューを開き、vFactory → ウェーハ工程・ファブ を選択します。次に「工程モデル」を選択します。

2. 「モデル」で「シード付きファブシミュレーション (v2)」を選びます。この例はシード 17、期間 3600 秒、割り当て規則「バッチ形成」で始まります。

3. 「乱数シード」を非負の整数に、「シミュレーション期間 (s)」を正の時間に設定します。同じエンジンで繰り返し実行して比較する場合は、シードと入力を同じにします。

バッチと保守を編集する

1. Cloud では「詳細入力」を展開します。Windows ではセクションのコントロールはすでに表示されています。「モデルのセクション」で「装置・バッチ・段取り・故障・保守」を選びます。

2. 「セクション JSON」で、炉のバッチ設定を確認します：minSize: 2、maxSize: 4、maxWaitS: 60。この例ではロット数を数えます。バッチは、最も長く待っているロットが最大待ち時間に達するまで、最小サイズになるのを待ちます。開始時刻は利用可能な容量にも制約されます。

3. 炉の空の pm 配列を次の配列に置き換えます。他のフィールドはそのままにします。

[{"everyS":900,"duration":{"kind":"constant","value":60}}]

これは 900 秒ごとに 60 秒間の保守を要求します。代わりに回数に基づく保守を行うには、everyS: 900 を everyCount: 2 に置き換えます。既定では、完了したバッチ数を基準に数えます。繰り返しの指定にはフィールドを一つだけ使用します。

1. 「セクションを適用」を選択します。適用済みの値に戻すには「編集を破棄」を選択します。実行やセクションの切り替えの前に、未適用の編集を適用するか破棄します。

「セクションを適用」の後、furnace はバッチ設定を保持し、900 秒ごとに 60 秒の保守エントリが 1 件あります。シードは 17、シミュレーション期間は 3600 秒のままです。

実行して結果を読む

1. 「シミュレーションを実行」を選択します。計算の実行を停止するには「シミュレーションをキャンセル」を選択します。

2. 「計算完了」が表示されたら、「計算結果」、「完了ロット数」、「完了ウェーハ数」を確認します。「装置状態の時間比率」で、処理、保守、アイドルの時間比率を比較します。

3. 入力を一つ変更し、セクションの編集を適用して再実行します。「入力が変更されました」は、以前の入力に基づく結果が表示されていることを示します。

「完了ロット数」と「完了ウェーハ数」を確認し、「装置状態の時間比率」で処理、予防保守、待機の比率を比較します。これらの値は、合成された入力例から得られたものです。

基本的な工程の操作手順は「vFactory で最初の工程モデルを実行する」を参照してください。

例の入力は合成された仮定であり、実際のファブのデータではありません。