参照ファブの装置数を変更する

参照装置数を 200–400 台から選び、更新された例を開いて装置の合計を確認します。

参照例のサイズは「ファブ設定」で選びます。この手順は Cloud と Windows アプリの vFactory に適用されます。初期状態の参照ファブには 300 台の装置があります。

装置数を設定する

  1. vFactory を開き、「参照ファブ」を選択します。最初の移動手順は、下記の参照ファブガイドを確認してください。

  2. シーンのツールバーにある歯車ボタン「ファブ設定」を選択します。

  3. 「ファブ設定」を展開して、「参照装置数」に 200 から 400 の整数を入力します。例えば 250 と入力します。

  4. 「参照ファブを開く」を選択して数値を適用します。

フィールドを変更しただけでは、開いているモデルは変わりません。「参照ファブを開く」が入力した数値を使って参照モデルと配置を作成します。

開いたファブを確認する

  1. パネルが閉じた場合は「ファブ設定」を再度開きます。

  2. パネルに「独自の参照ファブ」が表示されていることを確認します。

  3. 概要内の装置の合計を確認します。250 を入力して適用すると、概要には装置 250 台と表示されます。装置グループ、区画、OHT ポートも概要に表示されます。

250 を入力して 参照ファブを開く を選択した後の ファブ設定。ファブ設定 の 参照装置数 には 250 と表示され、独自の参照ファブ の概要には、装置 250 台、装置グループ 17 個、区画 8 個、OHT ポート 500 個、EUV 4 台と表示されています。

250 を入力して適用すると、独自の参照ファブ の概要に装置 250 台と表示されます。

同じ「参照ファブを開く」の操作で、読み込んだ配置から、選択した装置数の参照例に戻れます。

無効な装置数を修正する

「装置数を200–400台で指定してください。」が表示されたら、その範囲内の整数を入力して「参照ファブを開く」を再度選択します。

vFactory で参照ファブを開く

参照ファブは一例です。その配置と工程データは仮定であり、実際のファブのデータではありません。