更改参考晶圆厂的设备数量

选择 200–400 台参考设备,打开更新后的示例并检查设备总数。

从 晶圆厂设置 选择参考示例的规模。这些步骤适用于 Cloud 和 Windows 应用中的 vFactory。初始参考晶圆厂包含 300 台设备。

设置设备数量

  1. 打开 vFactory 并选择 参考晶圆厂。初始导航步骤请参阅下方的参考晶圆厂指南。

  2. 选择场景工具栏中的齿轮按钮 晶圆厂设置。

  3. 展开 晶圆厂设置,并在 参考设备数量 中输入 200 到 400 的整数,例如输入 250。

  4. 选择 打开参考晶圆厂 以应用数值。

仅更改字段不会改变已打开的模型。打开参考晶圆厂 会使用输入的数值创建参考模型和布局。

检查已打开的晶圆厂

  1. 如果面板关闭,请重新打开 晶圆厂设置。

  2. 检查面板是否显示 我们的参考晶圆厂。

  3. 查看摘要中的设备总数。输入并应用 250 后,摘要会显示 250 台设备。摘要还会列出设备组、区域和 OHT 端口。

输入 250 并选择 打开参考晶圆厂 后的 晶圆厂设置:晶圆厂设置 的 参考设备数量 中显示 250,我们的参考晶圆厂 的摘要显示 250 台设备、17 个设备组、8 个区域、500 个 OHT 端口和 4 台 EUV。

输入 250 并应用后,我们的参考晶圆厂 的摘要显示 250 台设备。

同一个 打开参考晶圆厂 控件也能让您从导入的布局返回所选设备数量的参考示例。

修正无效数量

如果出现“请选择 200–400 台设备。”,请输入该范围内的整数,再次选择 打开参考晶圆厂。

在 vFactory 中打开参考晶圆厂

参考晶圆厂是示例,其布局和工艺数据是假设,并非真实晶圆厂的数据。