팹 모델

합성 레퍼런스 모델과 팹 배치를 가져올 때 허용되는 구조 및 값을 확인하세요.

이 참조 문서는 Cloud 2.1.2.10 및 Windows 2.1.2.3의 vFactory에 적용됩니다.

참조 팹에서 참조 모델 또는 팹 모델 JSON 파일을 엽니다. 팹 설정을 열고 팹 설정을 펼치면 모델 제어 항목을 사용할 수 있습니다.

레퍼런스 모델

참조 장비 수를 정하고 참조 팹 열기를 선택하세요. 시뮬레이션 모델 내보내기를 선택하면 팹 시뮬레이터용 레퍼런스 모델을 저장합니다.

설정

값

참조 장비 수

장비 수 200–400(정수); 초기값 300

EUV 장비

4

장비 그룹

17

모델 스키마

altifigence.fab-model/v2

모델 이름

Synthetic reference logic fab

시뮬레이션 기간

259200 s

디스패치 규칙

fifo

가져온 모델 구조

팹 배치 가져오기는 스키마가 altifigence.fab-model/v1 또는 altifigence.fab-model/v2인 JSON을 받습니다. 모델은 루트 객체, 완전한 가져오기 데이터의 model(complete: true), 또는 문서의 input일 수 있습니다. 이 문서의 kind는 fab 또는 fab-v2입니다.

모델에는 이름, 장비 그룹 및 경로가 들어갑니다. 그룹 ID와 경로 ID는 각각 고유합니다. 각 그룹의 용량은 양의 정수입니다. 각 경로에는 작업 목록이 있으며, 각 작업의 equipmentId는 기존 그룹을 가리킵니다.

허용되는 배치 입력

가져온 모델은 자동으로 배치된 레이아웃 미리보기로 열립니다. 팹 시뮬레이터는 모델을 실행하기 전에 공정 매개변수를 검증합니다.

입력

허용 값

JSON 파일 크기

최대 32 MiB(33554432바이트)

장비 그룹

최대 2048

그룹당 용량

1–8192

전체 장비 수

최대 8192

경로

최대 2048

경로당 작업 수

최대 2048

전체 경로의 작업 수

최대 65536

ID

공백만으로 이루어지지 않은 최대 128 UTF-8바이트의 텍스트

모델 이름

최대 128 UTF-8바이트의 텍스트

관련 가이드

vFactory에서 참조 팹 열기

vFactory에서 첫 공정 모델 실행하기

레퍼런스 팹의 배치, 공정 데이터 및 결과에는 예시용 가정값을 사용합니다.