晶圆厂模型

本参考文档适用于 Cloud 2.1.2.10 与 Windows 2.1.2.3 中的 vFactory。

参考晶圆厂 可打开参考模型或 fab-model JSON 文件。打开 晶圆厂设置 并展开 晶圆厂设置 以访问模型控件。

参考模型

选择 参考设备数量，再选择 打开参考晶圆厂。选择 导出仿真模型 可保存供晶圆厂模拟器使用的参考模型。

导入模型结构

导入晶圆厂布局 接受架构为 altifigence.fab-model/v1 或 altifigence.fab-model/v2 的 JSON。模型可位于根对象、完整导入的 model（complete: true），或 kind 设为 fab 或 fab-v2 的文档的 input。

模型提供名称、设备组与路线。组 ID 与路线 ID 各自唯一。每个组的容量为正整数。每条路线都有操作列表，各操作的 equipmentId 指向现有组。

接受的布局输入

导入的模型会打开为自动排列的布局预览。晶圆厂模拟器会在运行模型之前验证工艺参数。

相关指南

在 vFactory 中打开参考晶圆厂

在 vFactory 中运行第一个工艺模型

参考晶圆厂的布局、工艺数据与结果采用示例假设。