运行包含批次和维护的带种子晶圆厂模型

运行带种子的批次示例，添加预防维护，并比较已完成的运行结果。这些步骤适用于 Cloud 2.1.2.10 和 Windows 2.1.2.3。

打开带种子的模型

1. 打开产品菜单并选择 vFactory → 晶圆工艺与晶圆厂。选择 工艺模型。

2. 在 模型 中选择 带种子的晶圆厂模拟（v2）。示例的初始设置为种子 17、时长 3600 秒，以及 批次组建 调度规则。

3. 将 随机种子 设为非负整数，并将 仿真时长 (s) 设为正的时长。使用同一引擎比较重复运行时，请保持相同的种子和输入。

编辑批次和维护

1. 在 Cloud 上，展开 高级输入。在 Windows 上，区段控件已经显示。在 模型区段 中选择 设备、批次、设置、故障和预防维护。

2. 在 区段 JSON 中检查炉管批次：minSize: 2、maxSize: 4 和 maxWaitS: 60。此示例按批次（lot）计数。组批会等待达到最小规模，直到等待最久的批次达到最长等待时间；何时开始仍受可用容量限制。

3. 将炉管的空 pm 数组替换为以下数组，其他字段保持原样。

[{"everyS":900,"duration":{"kind":"constant","value":60}}]

这会请求每 900 秒进行 60 秒维护。要改用按次数安排的维护，请将 everyS: 900 替换为 everyCount: 2。默认按完成的组批数计数。只能使用一个重复周期字段。

1. 选择 应用区段。要恢复为已应用的值，请选择 放弃区段编辑。运行或切换区段前，请先应用或放弃待处理的编辑。

“应用区段”之后，furnace 保留其批次设置，并有一个维护条目：每 900 秒进行 60 秒维护。种子保持为 17，仿真时长保持为 3600 秒。

运行并查看结果

1. 选择 运行仿真。要停止正在运行的计算，请选择 取消仿真。

2. 出现 计算完成 时，请查看 计算结果、已完成批次 和 已完成晶圆。在 设备状态时间占比 中比较处理、维护和空闲时间的占比。

3. 更改一项输入，应用区段编辑后再次运行。输入已更改 表示显示的结果来自先前的输入。

查看“已完成批次”和“已完成晶圆”，然后在“设备状态时间占比”中比较加工、预防维护和空闲的占比。这些值来自合成的示例输入。

基本工艺流程请参阅 在 vFactory 中运行第一个工艺模型。

示例输入是合成的假设，并非真实晶圆厂的数据。