运行并回放参考 AMHS 运输

启用参考 AMHS

在 Cloud 中，打开 vFactory → 晶圆工艺与晶圆厂，然后选择 参考晶圆厂。

1. 打开 晶圆厂设置，然后展开 晶圆厂设置。

2. 选择 启用参考 AMHS。

3. 检查显示的 OHT 车辆数量、速度、装载与卸载时间、批次数量及运行时长。

运行参考仿真

1. 选择 运行参考仿真。

2. 如需停止正在进行的运行，请选择 取消参考仿真。

3. 仿真完成后，保持 晶圆厂设置 打开，以使用播放控件。

回放记录的运输

1. 选择 播放仿真 以回放记录的事件。选择 暂停仿真 以暂停。

2. 调整 播放速度、拖动 仿真时间（秒），或在 跳至指定时间（秒） 中输入数值，以检查其他时间点。输入秒数后，按 Enter。

3. 选择 从头播放 以返回起点。

编辑场景会清除当前回放记录。再次选择 运行参考仿真，为更改后的场景记录一次运行。

参考晶圆厂的运行数值是用于说明的假设。