将晶圆厂模型导入为布局
在参考晶圆厂中打开完整的 fab-model JSON 文件,并检查生成的布局预览。
使用 导入晶圆厂布局,将完整的晶圆厂模型转为布局预览。这些步骤适用于 Cloud 和 Windows 应用中的 vFactory。
准备模型
选择模式为 altifigence.fab-model/v1 或 altifigence.fab-model/v2 的 JSON 文件,上限为 32 MiB(33,554,432 字节)。也接受包含模型的已保存仿真输入。
模型需要设备组和路线。设备容量必须为正整数,组和路线 ID 必须唯一,路线工序必须引用现有设备。生成的布局最多支持 8,192 台设备。
导入布局
打开 vFactory 并选择 参考晶圆厂。初始导航步骤请参阅下方的参考晶圆厂指南。
选择场景工具栏中的齿轮按钮 晶圆厂设置,然后展开 晶圆厂设置。
选择 导入晶圆厂布局 并选择 JSON 文件。
布局显示后,重新打开 晶圆厂设置。检查模型名称、导入布局的预览文本,以及设备、设备组、区域和 OHT 端口的摘要。
检查导入结果
如果出现 无法打开晶圆厂布局,请阅读消息并修正相应的输入问题后再导入。
文件超过 32 MiB 时,请选择大小在限制内的文件。模式不受支持时,请选择导出的 fab-model/v1 或 fab-model/v2 JSON 文件。导入预览不完整时,请先完成模型导入。
设备或路线出现错误时,请修正模型中报告的 ID、容量或路线引用,再重新选择文件。
导入的视图用于预览布局;工艺参数由仿真器验证。
提供的参考晶圆厂是示例,其布局和工艺数据是假设,并非真实晶圆厂的数据。