回放批次与设备状态

回放已完成的晶圆厂仿真，查看所选仿真时间的批次移动和设备状态。

这些步骤适用于 Cloud 和 Windows 应用。回放按照已完成晶圆厂仿真中记录的事件进行。

打开记录回放

有关打开 vFactory 和检查模型输入的方法，请参阅在 vFactory 中运行第一个工艺模型。

1. 在 vFactory 中打开“工艺模型”选项卡。在“模型”中选择“带种子的晶圆厂模拟（v2）”。

2. 检查模型输入，然后选择“运行仿真”。

3. 运行完成且包含完整的事件记录后，在计算结果下方找到晶圆厂场景。选择其工具栏上的“晶圆厂设置”（齿轮按钮）。

控制仿真时间

1. 选择“播放仿真”推进记录的运行。回放期间，选择“暂停仿真”可停留在显示的时间。

2. 更改“播放速度”，调整仿真时钟前进的速度。

3. 拖动“仿真时间（秒）”查看其他时间。要移至精确时间，请在“跳至指定时间（秒）”中输入数值并按 Enter。移至其他时间会暂停回放。

4. 选择“从头播放”返回时间零。准备好继续时，选择“播放仿真”。

已完成的带种子的晶圆厂模拟（v2）运行之回放，用跳至指定时间（秒）移至 1500 s。

查看批次与设备

在“播放中的批次信息”的“我的批次”中选择 ID，或在“按完整 ID 精确搜索批次”中输入完整 ID。查看该批次在显示时间的“状态”、“当前工序编号（从 1 开始）”和“已完成工序数”。

在“播放中的设备信息”中使用“检查播放中的设备”选择设备槽位。查看“状态”、“当前同批加工的批次”和“设备组队列批次数”。选择设备后，高亮显示的批次仍会保持选中。

设备信息显示所选设备在显示的回放时间的状态、当前批次和队列。

在场景工具栏中切换“2D 平面图”和“3D 地图”，在两种视图中查看相同的事件时间与设备槽位。

示例输入是合成的假设值。结果是对所提供模型的仿真，并非实际生产测量数据。